精密（mì）加工技術：超精密導軌及空氣靜壓軸承技術

文章（zhāng）來源：中（zhōng）國通用技術（集團）控股有限責任公司　　發布時間：2023-05-20

成果93：超精密（mì）導軌及空（kōng）氣靜壓軸承（chéng）技術

【所（suǒ）屬領域（yù）】關鍵零部件

【中央企業名稱】中國通用技術（集團）控股有限責任公司

【成（chéng）果簡介 】

本成果麵向超精密加工技（jì）術與裝備需求，對（duì）兩類超精密關鍵功（gōng）能部件技術產品展開攻堅。開展了多孔質節流雙半球氣體靜壓軸承設計、製造及裝配工藝技術研究，掌握了超精密氣體靜壓主軸（zhóu）伺服控（kòng）製技術。發（fā）明了一種全約束（shù）式超精（jīng）密液體靜壓導軌單元結構，突破了雙膜片（piàn）節流型靜壓滑塊設計（jì）技術，掌握了液（yè）體靜（jìng）壓導軌裝配（pèi）工藝和伺服控製技術。本（běn）成果技術難（nán）度大、創（chuàng）新性強，自主研製的（de）超精（jīng）密氣體靜壓（yā）主軸和液體靜壓導軌（guǐ）總（zǒng）體上達到國際先進水平，其中液體靜壓導軌全行（háng）程直線度指標達到國（guó）際領先水平。

【主要（yào）指標（biāo）】

（一）主軸回轉精度：≤25nm

（二（èr））主軸轉速：≥3000r/min

（三）導軌直線度：≤0.2μm/200mm

【應（yīng）用推廣需求】

（一）應用（yòng）推廣方式：銷售（shòu）、轉讓、合作實（shí）施、其他（tā）

（二）應用推廣領域：航空航天、光學、半導體、消費電子等領域中精密光（guāng）學元件、複雜（zá）結構件的（de）超精密生產製造與（yǔ）檢測。 

【成果圖片】