通常，按加工精度劃分，機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階（jiē）段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1m，表麵粗糙度為Ra0.1~0.01m，公（gōng）差等級在IT5以（yǐ）上的加工技術。
但（dàn）一般加工、精密加工和超精密（mì）加工隻（zhī）是一個相（xiàng）對概念（niàn），其間（jiān）的界限將隨著加（jiā）工（gōng）技術的進（jìn）步（bù）不斷變化，今天的精密加工可能就是明天的一般加工
凸起字樣被緩慢地往下壓進底部，最後（hòu）變成平滑（huá）表麵
看似現代科技的超（chāo）精密加工在上個世紀早已出現
超精密（mì）加工的發展（zhǎn）經曆了如（rú）下三個階段：
（1）20世紀50年（nián）代至80年（nián）代為技術開創期
出於航（háng）天、大規模集成電路、激（jī）光等尖（jiān）端（duān）技術發（fā）展的需（xū）要，美（měi）國率先（xiān）發展了超精密（mì）加工技術，開發了金剛（gāng）石刀（dāo）具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用於加（jiā）工激光核聚變反射鏡、戰（zhàn）術（shù）導彈及載人飛船用球麵、非球麵大型零件等。
（2）20世紀80年代至90年代（dài）為民間工業應用初期
在政府的支持下（xià），美國的摩爾公（gōng）司、普瑞泰克公司開始超精密加工設備的商品化，而日本（běn）的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學（xué）等（děng）也陸續推（tuī）出產品（pǐn），並開始（shǐ）用（yòng）於民間工業光學組件的製造。但當時的（de）超精密加工設備依然（rán）高貴而稀少，主要以專用機的形式訂作。
在這一時期，可加工（gōng）硬質金屬和硬脆性材料的超精密金剛石磨削技術及磨（mó）床被開發出來，但其（qí）加工效率無法和金剛石車床相比。
（3）20世紀90年代至今為民間工（gōng）業（yè）應用成熟期
在汽車、能源、醫療器材、信息、光電（diàn）和通信等產業的推動下，超精密加工技術（shù）廣泛（fàn）應用於非球（qiú）麵光學鏡片、Fresnel 鏡片、超精密模具、磁盤驅（qū）動（dòng）器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等零件的加工。隨著超精密加（jiā）工設備（bèi）的相關技術（shù），例如控（kòng）製器、激光幹涉儀、空氣軸承精密主（zhǔ）軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動（dòng）進（jìn）給軸也逐漸成熟，超（chāo）精密加工設備變為工業界常見的生產（chǎn）機器設備。
此外，設備（bèi）精度也逐漸接近納米級水平（píng）、可加工工件的尺寸範圍也變得更大（dà），應用越來越廣泛。隨著數控技（jì）術的發展，還出現了超精密五軸銑（xǐ）削和飛（fēi）切技術。已經可以加工非軸對稱非球麵等複雜零件。
以上是“三大時（shí）期（qī）”下麵還有“三大趨勢”
超精密加工的發（fā）展（zhǎn）趨（qū）勢主要為（wéi）以下（xià）三個方麵：
(1) 高精（jīng）度（dù）、高效率
超精密加工永恒的主題。探索能兼顧效率與精度（dù）的加工方法，成為（wéi）超精密加工領（lǐng）域研究人員的目標。
(2) 工藝整合化
高生產（chǎn）效（xiào）率越來越成（chéng）為企業賴以生存的條件，於（yú）是出現了“以磨（mó）代研”甚至“以磨代（dài）拋”的呼聲。此外，使（shǐ）用一台設備完成多（duō）種加工(如車削、鑽削、銑削、磨削、光整)的趨勢越來越明顯。
(3) 大型化（huà）、微型化（huà）
加工航空、航（háng）天、宇航等（děng）領域的大型光電子器件，需要建立大（dà）型超精（jīng）密加工設備；加工微型電子機械（xiè）、光電信息等領（lǐng）域的微型器件，需要微型超精密加工設備。
世界最大（dà）口徑天文球麵射電望遠鏡
總（zǒng）的來說，超精密磨削、珩磨等固著磨粒（lì）超精密加工技術正（zhèng）在追求遊離磨粒加工技術的加工精度，而遊離磨粒超精密加工技術正在（zài）追（zhuī）求固著磨粒（lì）加工的效率。超精密（mì）加工技術正向著（zhe）適於大批量生產的高效高質量、低成本、環境友好的方（fāng）向發展。
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