通常，按加工精度劃分，機械加工可分為（wéi）一般加工、精（jīng）密加工、超精密（mì）加工三個（gè）階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1m，表麵粗糙度（dù）為Ra0.1~0.01m，公差等級在IT5以上的加工技（jì）術。
但一般加（jiā）工、精（jīng）密加工（gōng）和超精密加工隻是一個相對概念，其間的界限（xiàn）將隨著加工技術（shù）的進步不斷變化，今天（tiān）的精（jīng）密加工可能就（jiù）是（shì）明天的一般加工
凸起字樣被緩慢地往下壓進底部，最（zuì）後變成平滑表麵
看似現代科技的超精密加工在上個世紀早已出現
超精密加工的發展經曆了如下三個階段：
（1）20世紀50年代至80年代為技術開創期
出於航天、大規模集成電路、激光等尖端（duān）技術發展的需要，美國率先發展了超精密（mì）加工技術，開發了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削（xuē）(Single point diamond turning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用於加工激光核聚變反射鏡、戰術導彈及載人飛船用球（qiú）麵、非球麵大型（xíng）零件等。
（2）20世紀80年代至（zhì）90年代（dài）為民間工業應用初（chū）期
在政府的（de）支持下，美國的（de）摩爾公司、普（pǔ）瑞泰（tài）克（kè）公司（sī）開始超精密（mì）加工設備的商品化，而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學等也陸續推出產品，並開始用於民間工業光學組件的製造。但當時的超精密加工設備依然高貴而稀少（shǎo），主要（yào）以專用機的形式訂作。
在這一時期，可加工硬質（zhì）金屬和硬脆（cuì）性材料的超（chāo）精密金剛石磨削技術及磨床被開發出來，但其加工效率（lǜ）無（wú）法和金剛石車床相比（bǐ）。
（3）20世紀90年代至今為民間工業應（yīng）用（yòng）成熟期
在汽（qì）車、能源、醫療器材、信息、光電和通信等產業的推（tuī）動下，超精密加（jiā）工（gōng）技術廣泛應用於非（fēi）球麵光（guāng）學鏡（jìng）片、Fresnel 鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基（jī）板（bǎn）加工、半導體晶（jīng）片切割等零件的加工。隨著超精（jīng）密加工設備的相（xiàng）關技術，例如控製器、激光幹涉儀、空氣軸承精密主軸、空（kōng）氣軸承導軌、油壓軸承導（dǎo）軌、摩擦驅動（dòng）進（jìn）給軸也逐漸成熟，超精密加工（gōng）設備變為工業界常見的生產機器設備。
此外，設備精度也逐漸接近納米級水平（píng）、可加工（gōng）工件的尺寸範圍也變得更大，應用越來越（yuè）廣泛（fàn）。隨著數（shù）控技術（shù）的發展，還出（chū）現了超（chāo）精密五軸（zhóu）銑削和飛切技術。已（yǐ）經可以加工非軸對稱非球麵等複雜零（líng）件。
以上是“三大時期”下麵還有“三大趨勢”
超精密加工的發展趨勢主要為以下三個方麵：
(1) 高（gāo）精度、高（gāo）效率
超精（jīng）密加工永（yǒng）恒的主題。探索能兼顧效率與精度的加工（gōng）方法，成為（wéi）超精密加工領域（yù）研究人（rén）員的目標。
(2) 工藝整合化
高生產效率越（yuè）來越成為企業（yè）賴以生存（cún）的條件，於是出（chū）現了（le）“以磨代研（yán）”甚至“以磨代拋”的（de）呼聲。此外，使用一台設備完成多（duō）種加工(如車削、鑽（zuàn）削、銑削、磨削、光整)的趨勢（shì）越（yuè）來越明顯（xiǎn）。
(3) 大型化、微型化
加工航空、航（háng）天、宇航等領域的大型光電子器件，需要建立大型超精密加工設備；加工微（wēi）型電子（zǐ）機械、光電信息等領域的微（wēi）型器件，需要微型超精密加工（gōng）設備。
世界最大口徑天文球（qiú）麵射電望遠鏡
總的來說，超精密（mì）磨削、珩磨（mó）等固著磨（mó）粒超精密加工技術正在追求遊離磨粒（lì）加工技術的（de）加工精度，而（ér）遊離磨粒（lì）超精（jīng）密加工技術正在追求固著磨（mó）粒加工的效率。超精密加工技術（shù）正向著適於大批量生產的高效高質量、低成本、環境友好的方（fāng）向發展。
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