大矢高微透鏡陣（zhèn）列加工方法（fǎ），超精密微透（tòu）鏡陣（zhèn）列切削加工
　　超精密微透鏡切削加（jiā）工工藝是（shì）微透鏡陣列加工的一種技術，接近於微透（tòu）鏡陣列光學冷加工。主要用於大矢高微（wēi）透鏡陣列，大數值孔徑微透鏡陣列，大角度微透鏡陣列的加工（gōng）製造。區別於光刻膠熱熔（róng）法，台階（jiē）刻蝕法和激光（guāng）直寫法等技術，微透鏡超精密切削（xuē）加工技術能夠加工更精細的光學器件（jiàn），加工得到的微透鏡麵形精度和表麵質量高，自由曲麵（miàn）微（wēi）結構加工可行性得到保證。用微透鏡超精密（mì）切削加工技術我司能做（zuò）到的微（wēi）透鏡陣列矢高範圍為250nm-4mm，子單元口徑80μm-30mm，麵形誤差和ROC誤（wù）差為±0.5%，表麵粗糙度局部（bù）能夠達到2-5nm，鏡片尺寸誤差達到（dào）±0.1mm。由此可見微透鏡超精密切削加工的精度優勢。許多大矢高的快慢軸（zhóu）準直鏡便是用這種工藝製造（zào）的。圖片
　　目（mù）前超（chāo）精密微透鏡（jìng）切削加工工藝主要有三種（zhǒng），微銑刀銑削加工，慢（màn）刀進給（gěi）伺服車削加工（STS）以及快（kuài）刀伺服（fú）進給車削加工（FTS）。微銑刀（dāo）銑削加工常使用多軸超精密銑床，采用球頭微（wēi）銑（xǐ）刀保證加（jiā）工質量。STS加工及FTS加工常用刀具為單（dān）點金剛石刀（dāo）具。不（bú）同在於（yú）STS是利用C,X,Z三軸聯動帶動（dòng）刀具在工件圓柱坐標係內完成空間三維軌跡的創成運動；FTS車削加（jiā）工通（tōng）過設計高頻響、高精（jīng）度的刀具驅動裝置，在主軸角度（dù）及X軸導軌反饋的基礎上，控製刀具在主軸方向上實時跟蹤工件麵形的變化。用微透鏡陣列超精密切削加工切削技術暨微透鏡陣列光（guāng）學冷加工技術加工（gōng）出來的（de）大矢高微透鏡陣列，大數值孔徑微透鏡陣列和大角度微透鏡陣列可以統稱為刀具法（fǎ）微（wēi）透鏡陣列。圖片平麵刀具（jù）法微透鏡（jìng）陣列光學冷加工的工藝過（guò）程：（1）將（jiāng）工件定位及裝（zhuāng）夾，選用聚晶金剛石（shí）刀具並快速對刀；（2）用聚晶金剛石（shí）刀具加（jiā）工基麵；（3）用聚晶金剛石刀具初步（bù）微透鏡陣列加工，加工出工件形狀（zhuàng）；（4）選用單晶金剛石刀具快（kuài）速對刀後進行（háng）精加工，采用較低（dī）進（jìn）給量率微量切削，得到良（liáng）好的表麵質量。
　　而曲麵刀具法微透鏡陣列光學冷加工的加工規劃除第二步是用聚晶刀加工基曲（qǔ）麵（miàn）外，其他均與平麵刀具法（fǎ）微透鏡陣（zhèn）列光學冷（lěng）加工工藝規劃相似。圖片以上（shàng）便是（shì）微（wēi）透鏡陣列（liè）光學冷加工技術，超（chāo）精密微透鏡切（qiē）削加工工藝的簡介。我司新產品MLA1刀（dāo）具法微透鏡陣列所（suǒ）應用的就是微（wēi）透（tòu）鏡超（chāo）精密切（qiē）削加工技術，以此來（lái）製（zhì）造的大矢高微透鏡陣列，大角度微透鏡陣列，大數值孔徑微透（tòu）鏡陣列的麵形精度和麵形質量極高。歡迎您谘詢了解。參考文獻：[1]徐（xú）禮威.微透鏡（jìng）陣列（liè）超精密（mì）切削加工（gōng）技（jì）術研究[D].哈爾濱工業大學,2015.
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