精密加工技術：超精密導軌及空氣靜壓軸承技術（shù）

文章來源：中國通用技術（集團）控股有限責任（rèn）公司（sī）　　發布時（shí）間：2023-05-20

成果93：超精密導軌及空氣靜壓軸（zhóu）承技術

【所屬領域】關鍵零部件

【中央企業名稱】中國通用技術（集團）控股有限責任公司

【成果（guǒ）簡（jiǎn）介 】

本成果麵（miàn）向超精密加（jiā）工技術與裝備需求，對兩類超精密（mì）關鍵功能部件技術產品展開攻堅（jiān）。開展了多孔質（zhì）節流雙半球氣體靜壓軸承（chéng）設計、製造及裝（zhuāng）配（pèi）工藝技術研究，掌握（wò）了（le）超精密氣體靜壓（yā）主軸（zhóu）伺服控製技術。發明了一種全約束式超精密液體靜壓導軌（guǐ）單元結構，突（tū）破了雙膜片節流型靜壓滑塊設計（jì）技術，掌握了液體靜壓導軌裝配工藝和伺服控製技術。本成果技術（shù）難度大、創新（xīn）性強，自主研製的超精密氣體靜壓主（zhǔ）軸和液體靜壓導軌總體上達到國際先進水平（píng），其中（zhōng）液（yè）體靜（jìng）壓導軌全行程直線度指標達到國（guó）際領先水（shuǐ）平（píng）。

【主要指標】

（一）主軸回轉精度：≤25nm

（二）主軸轉速：≥3000r/min

（三）導軌直線度：≤0.2μm/200mm

【應用推（tuī）廣（guǎng）需求】

（一）應用推廣方式：銷售、轉讓、合作實施、其他

（二）應（yīng）用推廣領（lǐng）域：航空航天、光學、半導體、消（xiāo）費電子等領域中精密光學元件、複雜結（jié）構件的超精密生（shēng）產製造與檢測。 

【成果圖片】