淺聊半導體行業超精密（mì）加工
　　伴隨中國（guó）半導體設備的發展，對於我們的加工要求越來越高，過去我們加工0.01mm的（de）精度已經非常難了，但現在出現了很多零件加工，精度動不動要求幾個um，在這種情況下很多時候，我們靠普通設備，隻能（néng）通過人員的技術水平和經驗，做出來，但很難進行（háng）穩定生產。也有很多（duō）朋友和客戶在向（xiàng）老易谘詢半導（dǎo）體行業的加工，怎麽樣滿足半導（dǎo）體行業零件的超高精度要求。在（zài）這裏麵老易淺談一下半導體的超精密加工。
　　我們今天從人機（jī）料法環測六個維度分析，首先（xiān）聲明老易本人對於半導（dǎo）體行業接觸也不是特點多，更多的是通過收集一些公共信息和對於一些（xiē）加工認知寫的，對的大家點個讚轉發，錯（cuò）的大家私聊（liáo）老易，給老易指出來。
　　機：對於超（chāo）精密加工來說，首先（xiān）最重要的一定是機（jī）了。裝備不行，我們水平再高也是巧婦（fù）難為無米之炊。所以設備非常重要，這裏麵的設備老易在網上找到了一個我也認為比較公正的文章。作為參考。這些設（shè）備應該（gāi）都是半導體行（háng）業的超精密加工的設備。這些設備順序不是排位，隻（zhī）是老易想到那就寫到（dào）那裏。
　　1.Mikron Mill P係列（liè）品牌+GF+這裏麵（miàn）包括P係列的三軸（zhóu）機和P係列的五軸機。在24小時甚至更長加工時間中，為確保加工工件達到優於5微（wēi）米的（de）高精度，機床則需要（yào）達到更高的精密性。采用高剛性、溫度穩定的床身設（shè）計有效控製機（jī）床（chuáng）加工時的溫度和溫度變（biàn）化，確保工件在長時間加工中變化小於±3µm。同時（shí）該品牌的五軸機的轉（zhuǎn）台，有使用老易代理的德國派士樂五軸轉台。
　　2.德國羅德斯品牌：roeders 200年曆史企業，家族6代企業傳承，主要以超精（jīng）密模具為（wéi）主。大理石床身搭配直線（xiàn）電機和自己獨有的控（kòng）製係統，加工效率極高。羅德斯在歐洲為高速機之王，該設備（bèi）在模具行業擁有大量的客戶。
　　3.瑞（ruì）士菲爾曼機床品牌FEHLMANN 1930年的家族企業，發展戰略以“專、細”為方向，為保證產品品（pǐn）質機床幾乎所有環節（含主軸）都是以自己生產、研發、組裝為（wéi）主。
　　4.德國科恩微精技術有（yǒu）限公司品牌：KERN獨特大理石床身搭配靜浮導軌及直線電機，保（bǎo）證機床定位精度2um，重（chóng）複定位精度1um。這個設備實際上（shàng）在華南使用不多，但（dàn）在華南的一個超級大廠裏麵有很多。
　　5.德（dé）國艾（ài）格索品牌（pái）exeron德國艾格（gé）索品牌以從模具放電及高端銑削為主。產品設計（jì）大膽前衛，床身采用高強度大理石（shí）龍門結構（gòu），大理石床身，線電機驅動完美（měi）機械力（lì）學性能，使（shǐ）加工工件達到最（zuì）高精度和表麵質量要求。另外這家公司的五軸機使用的轉台，就是（shì）老易代理的（de）德國派士樂的。
　　6.牧（mù）野iQ係列品（pǐn）牌：makino iQ係列精密設備采（cǎi）用了先進的（de）直線電機設計，0.005微（wēi）米級光柵尺反饋和無與倫比（bǐ）的元器件溫度控（kòng）製。主軸：45000，為了確（què）保使用不同刀具到達不（bú）同的加工表麵質量（liàng）的匹配性，iQ3係列機床集成了專有的牧野混合自動刀具長度測量係統（HyATLM），確保滿足各種項目的需求！
　　7.日（rì）本雅司（sī）達（亞斯達）品牌：YASDA亞斯達開發了（le）YMC430微中心，消除了滾珠主軸並采用了直線電機。定位精度為0.1微米適用工件：光學模具、透鏡模具、電池油（yóu）料分（fèn）離器模具、連接器模具、醫用模具（jù）、衝頭模具、塑料或矽膠模具、齒（chǐ）輪、透鏡用小型模架等。部分型號禁售中國
　　8.日本東芝UVM-450C品牌（pái）：toshiba東芝高速精（jīng）密加工中心裝載空氣靜壓主軸，0.01μm的高精度進給結構，0.002μm高分解能力的直線光柵尺、高精度直線導軌和直線電驅動控製技術，是專門為光學配件加工機，半導體關聯備件（jiàn）精密加工，超精密加工及其它，中小型（xíng）液晶顯示器用導光板模（mó）具加工（gōng）
　　9.日本碌碌微細加工機床品（pǐn）牌：ROKU-ROKU日本碌碌以“加工藝術家”為著（zhe）稱，在日本也稱機王。多用於（yú）半導體、芯片等微孔、石墨等超精密加工。
　　10.日本希村品牌HopHet希村超精密細微加（jiā）工中（zhōng）心是1972年日（rì）本隱形冠軍株式會社打造的品牌。機身（shēn）采用水循環冷卻結構大理石床（chuáng）身、三軸匹配直線電機，42000高轉速，工件加工精（jīng）度一直穩定2um，主要以半導體、光學模具行業為（wéi）主。
　　除了上麵這10家外，我們的國內的設備也開始在超精密加工方麵在進步和突破，如（rú）深圳朗恩精密的設備，也在超（chāo）精密加工方麵取（qǔ）得了突破。當然還有很多品牌也（yě）都在超精密加工領域裏麵有建樹，這裏麵老易就不一一講述（shù）。但不管（guǎn）怎麽樣，目前這些全球超精度的設備（bèi）一（yī）般采用以下技術：
　　1.床身采用大理石床身技術，礦物鑄件的剛性，礦物鑄件（jiàn）的吸震性，礦物鑄件的（de）熱穩定性。
　　2.采用直線電機，直線電機最大特點是其沒有間隙，因此可以獲（huò）得更高的運動精度。
　　3.采用大量的（de）冷卻技術，解決溫度對於（yú）機床部（bù）件的影響，不管是鑄鐵還是我們的大理石本（běn）質都會有變（biàn）化（huà），隻是大與小的問（wèn）題。
　　4.采用高（gāo）精度的光柵，一定是全閉環的（de）。而且精度級（jí）別高於更多（duō）通用的級別。
　　環：這個是指我們的加工環境，環境就包（bāo）括溫（wēn）度、濕度、潔淨度、振動等等。
　　第一個是溫度。
　　對於我們的設備的（de）使用環境都是有（yǒu）嚴格要求的，老（lǎo）易曾經前往一超精密車間，車間（jiān）裏麵就有裏麵的米（mǐ）克朗設備和科恩設備，其設備都是放置在單（dān）獨的（de）恒溫單元，並（bìng）且采用（yòng）了雙玻璃。高（gāo）精度（dù）設備除了自身的溫度控製外，加工環境要求更高。
　　第二個是地基
　　我們很多企業會忽視對（duì）於地基的要求，老易同樣參（cān）觀過一家采購了德國的高精度（dù）設備，其為了給這台設備做（zuò）地基，都用了幾個月，為什麽幾個月呢，因為之前做出來（lái）的地基沒有達到要求，造成了重作。對於地基不僅僅是承載能力、拉（lā）伸能力（lì），還有隔振（zhèn）能力，需要將外（wài）部振動的隔（gé）斷設備地基外。
　　法：這個（gè）就是我們的工藝了（le）。
　　當我們的（de）設備選擇了，環境溫度也控製好了，地基也嚴格按照了設備廠家要求，這個時候就是加工工藝了。實際上（shàng）所有的（de）高（gāo）精度（dù）的產（chǎn）品加工時候，都不可以一（yī）次做好，都是需（xū）要很多次的加工和熱處理，這個過（guò）程是為了將加工過程（chéng）的材料變化，降到最低。所以如果您要做高精度的產品，一定要找到懂從事高（gāo）精度產品加工（gōng）的工藝人員。
　　測：就是我們的測（cè）量。
　　對於我們超（chāo）精密加工時候，如果我們都沒（méi）有辦法測出來時候，那麽我（wǒ）們怎麽（me）知（zhī）道我們的是否合格，或者怎麽優（yōu）化。而這個測的級別就比我們的加工設備（bèi）會（huì）更高。至少需要高一個級別，我們（men）才（cái）有可能測出來的。而我們的測量的設備更需要考慮前麵講的環境。
　　上麵我們講了（le）機、環、法、測這個四個維度，另外的（de）人和料同樣也會製約（yuē）我們（men）是否能夠保（bǎo）證達到精度，當然在料的方麵，更多時候是客戶指定出來的。我們必須嚴格按照要求進行。當我們（men）的加工精度上到這個（gè）級別時候，可以每個要素都是需要錢的。要打造一個超精密加工，實際上需要（yào）用錢堆（duī）出來（lái）。