第18屆國際激光加工技術研討會（LPC 2024）將（jiāng）於9月10日（深圳光博會前一天）在（zài）深圳（zhèn）深鐵皇冠假日酒店舉辦。LPC 2024繼續秉承以推動激光行業的可持續（xù）發展，搭建“產學研用”高度融合的國際交流平台為宗（zōng）旨，匯聚國內外相關科研院所（suǒ）、高校（xiào）及企業的多位專家大咖，圍繞先進光源和裝備技術（shù）、激光微納製造（zào）、激光智能製造、激光賦能新質生產力（lì）以及“光（guāng）”製造行業（yè）的創新發展路徑等主題進行（háng）深入探討，結合他們（men）最新的研究成果和成功案例分享全（quán）球激光行（háng）業的創新工（gōng）藝、技術、產品和應用方案，探索前沿（yán）技術、破（pò）解難點痛點、驅動熱點應用、把脈（mò）未來趨勢、促進（jìn）產業發展！
演講嘉賓
◎徐少林，南方科技大（dà）學副（fù）教授
演講題目
◎激光引導各向（xiàng）異性（xìng）刻蝕—微結構玻璃器件精密加工技術
演講摘要
向下滑動閱覽
表麵微結構化玻璃在各類（lèi）光學元件和光電器件中得到了廣泛（fàn）應用。然而（ér），現有的精密加工方法通常（cháng）難以實現高（gāo）效製造複雜、高自由度的玻璃微結構，這限製了微結構（gòu）化玻璃元件的應（yīng）用（yòng）潛（qián）力。徐少林團隊的研究發（fā）現，通過利用激光對玻璃特定區域（yù）進行改性，可局（jú）部加速玻璃刻蝕速率，打破玻璃固有的各向同（tóng）性（xìng）刻蝕（shí）規律，實現（xiàn）沿改（gǎi）性軌跡引（yǐn）導的各向異（yì）性刻蝕（shí）過程。基於這一現象，團（tuán）隊（duì）開發了“激光引導（dǎo）各向（xiàng）異性刻蝕”技術，用於製備具有銳利特征、光滑表麵（miàn）以及（jí）可調形狀和尺寸（cùn）的精密（mì）玻璃微結構。該方法使用整形貝塞爾光束在玻璃內部（bù）創建高縱（zòng）橫比的線形改性區域。這些改性線的蝕（shí）刻速率（lǜ）高於原始玻璃，並且可以沿著改性（xìng）軌跡引導具有方向性（xìng）的蝕刻去材過程，從而形成V槽結構。通過調控蝕刻速率比，可以在20至80度範圍內精確調節V槽角度。將這些改性線作為基本（běn）單元相互連接，構（gòu）建三維內部改性區域，可以引（yǐn）導玻璃（lí）表麵形貌的整體蝕刻演化，最終實現具（jù）有可設計形狀和可調特征尺寸的微結構。該技術在加工各類精密結構化玻璃元件中展現出巨大潛力，可加工用於光纖（xiān）對準的V槽陣列、用於光調製的閃耀（yào）光柵，以及具有複雜設計流道（dào）的微流控芯（xīn）片等。這一激光引導各（gè）向異性刻蝕方法有望推動高附加值結構化玻璃器（qì）件相關研究和產業的進一步發展。
嘉賓介紹
徐少林博士，現任南方科技（jì）大學機械與能源工程係長（zhǎng）聘副教授（研究員），博士生導師，主（zhǔ）要（yào）從事超快激（jī）光微納加工及應用等（děng）相（xiàng）關研究。日本東北大學機械（xiè）係統設計工程博士，曾任（rèn）職（zhí）於（yú）日本東（dōng）北大學工（gōng）學研究科JSPS特（tè）別研究員和助理教授，獲批主持2項日本（běn）學術振興會科研（yán）基金。中國光學學會激（jī）光加工專業委員會委員（yuán），中國機械（xiè）工程學會極端製（zhì）造（zào）分會委員，廣東省機械工程學（xué）會特種加工（gōng）分會理事。學術（shù）研究上，首次提出激光誘導周期性納米結構自對準製造、逐（zhú）像素偏振圖案（àn）化脈（mò）衝激（jī）光光刻等技術，實現了大麵積亞波長結構圖案化高效製造；工業應用上，開發了整形脈衝激光輔助蝕刻（kè）技術製備玻璃晶圓微通孔/微溝槽/微透鏡等（děng），與企業共（gòng）建“激光精密（mì）製（zhì）造（zào）與芯片先進封裝（zhuāng）”校企聯合實驗室（shì）。近年來以通訊作者身份發表高水平學術論文40餘篇，獨立主（zhǔ）持國家省市級及企業橫向項目10餘項。
