7月9日,由中國粉體網主辦的“2024高端研磨拋(pāo)光材料技術(shù)大會”在河南鄭州成功召開。會議期間,我們邀請到多位專家學者、企(qǐ)業家代表做客“對話”欄目,圍繞高端(duān)研磨拋光材料的技術與應用現狀及發展方向進行了訪談交(jiāo)流。本期,我們分享的是河南工業大學班新星副教授的專訪。

班教(jiāo)授:主要包(bāo)括(kuò)超精密磨削、快速拋(pāo)光、精密修形等。磨削的(de)作用是快速去除(chú)毛(máo)坯材料,並(bìng)使元件達到一定的形狀(zhuàng)要求;快速拋光則是消除由(yóu)於磨削加工引起的表麵和亞表麵損傷,同時進一步提升加工精度;精密修形的目的是提(tí)升元件的麵(miàn)形精度,以達到使用的要(yào)求。
中國粉(fěn)體網:請問班教授,光學(xué)元件超精密加工的難點有(yǒu)哪些?
班教授:光學元件屬於典型的(de)硬脆難加工材料(liào),加(jiā)工過(guò)程中容易產生表麵和亞表麵損傷,如何有效控製缺陷的形成和提升加工精度是當前的難點。
不同的加工工藝方法對缺陷和(hé)精度的影響是不同的。比如,全口徑拋光的加工效率高,但對低頻誤差的控製比較困難,而子口徑拋光能夠提升麵形精度(dù),但效(xiào)率較(jiào)低(dī),並且容(róng)易(yì)引起中頻誤差。
中國粉體網:請問班教授,實現超精拋光的方法主要有哪(nǎ)些?
班教授(shòu):超(chāo)精(jīng)密拋光方法主要包括:小磨頭(tóu)數控拋光、氣囊拋光、離子(zǐ)束拋光、磁流(liú)變拋光、等離子體拋光、射流拋光等。盡管這些(xiē)方法都能夠實現光學元(yuán)件最終納米級麵形精度的控製。不過,元件尺寸、材質、形狀不同,所采用的方(fāng)法(fǎ)也不(bú)一樣。
中國粉體網:請問班教授(shòu),我國光學超精密加工(gōng)技術與裝(zhuāng)備發展水平如何?
班教授:近年來得到了蓬勃發展,在天文望遠係統、強激光裝置等(děng)領(lǐng)域的光學元件製造工藝和裝(zhuāng)備實現了自主可(kě)控,但在以(yǐ)光刻物鏡為代表的極端精度光學元件超精密加工方麵與國外(wài)先進水平存在較大的差距。
中國粉體網:請問班(bān)教授,您的研究方向主要(yào)涉及哪些方麵?
班教授:我的研究方向主(zhǔ)要涉及麵形控製、工藝優化、設備開發等(děng)方麵,除了(le)大口徑平麵光學元件之外,目前也在開展第三代半(bàn)導體晶圓超精密加工方麵的研究工作,從軍品到民品輻射(shè),將先進的加工技術不斷推廣到(dào)市場上去,實(shí)現工(gōng)程化應(yīng)用。
