第18屆國際激光加工技（jì）術研討會（LPC 2024）將於9月（yuè）10日（深圳光博會前一天）在深圳（zhèn）深鐵皇（huáng）冠假日酒店舉辦。LPC 2024繼續秉（bǐng）承（chéng）以推動（dòng）激光行業的可持續發展，搭建“產學研（yán）用（yòng）”高度融合的國際交流平台為宗（zōng）旨，匯聚國內外相關科研院所、高校及企（qǐ）業（yè）的多位專家大咖，圍繞先進光源和裝備技術、激光微納製造（zào）、激（jī）光智能製造、激光賦能新質生產力以（yǐ）及“光”製造行業的創（chuàng）新發展路徑等主題進行深（shēn）入探討，結合（hé）他們最新的研（yán）究成果和成功案例分享全球激光行（háng）業的創新工藝（yì）、技術、產品和應用方（fāng）案，探索前沿技術、破解難點痛點、驅動熱（rè）點（diǎn）應用、把脈未來趨勢、促進產業發展！
演講嘉賓
◎徐少林，南方科技大學副教授
演（yǎn）講題目
◎激光引導各（gè）向異性刻蝕—微結構玻璃器件（jiàn）精密加工技術
演講摘要
向下滑動閱（yuè）覽
表麵微結構化玻璃在各類（lèi）光學元（yuán）件和光電器件中得到了廣泛應用。然而，現有的精密加工方法（fǎ）通常難以實現高（gāo）效製造複雜、高自由度的玻（bō）璃微結構，這限製了微結構化玻璃元件（jiàn）的應用潛力。徐少林團隊的研究（jiū）發現，通（tōng）過利用激光對玻璃（lí）特定區域進行改性，可局部加速（sù）玻璃（lí）刻蝕速率，打破玻璃固有的各向同性刻蝕規律（lǜ），實現沿改性軌跡引導的各（gè）向異性刻蝕過（guò）程。基（jī）於這一現象，團（tuán）隊開發了“激光引導（dǎo）各向異性刻蝕”技術，用（yòng）於製備具有銳利特征、光滑表（biǎo）麵以及可調形狀和尺寸的精密玻璃微結構。該方法使用整形貝塞爾光束在玻璃內部創建（jiàn）高縱橫比的線形改性區域（yù）。這些改性線的蝕刻速率高（gāo）於原始玻璃，並且可以沿（yán）著改性軌跡引導具（jù）有方向性的蝕刻去材過程，從而形成V槽結構。通過調（diào）控蝕刻速率比，可以在20至80度範圍內精確調節V槽（cáo）角度。將這些改性（xìng）線作為基本單元相互連接，構（gòu）建三維內部改（gǎi）性區域，可以引導（dǎo）玻璃表麵形貌的整體蝕（shí）刻演化，最終實現具有可設（shè）計（jì）形狀和可調特征尺寸的微結構。該技（jì）術在加工各類精（jīng）密結構化玻璃元件中展現出巨大潛力，可加工（gōng）用（yòng）於光纖（xiān）對準的V槽（cáo）陣列、用於光調製的閃（shǎn）耀光柵，以（yǐ）及具有複雜設計流道的微流控芯片等。這一激（jī）光引導（dǎo）各向異性刻蝕方法有望推動高附加值結構化玻璃器件相關研究（jiū）和產（chǎn）業的進一步發展。
嘉（jiā）賓介（jiè）紹
徐少林博士（shì），現任南方科（kē）技大學機械與能源工程係長聘副教授（研究員），博士生導師，主要從事超快激光微納加工及應用等相關研究。日本東（dōng）北大學機械係統設計工程博士，曾任職於日本東北大學工學研（yán）究科JSPS特別研（yán）究員和助理教授，獲批主持2項日本學術振興會科研基金。中國光學學會激光加工專業（yè）委員會委員，中國（guó）機械（xiè）工程學會極端製造分會委員，廣（guǎng）東省機械工程學會特種加工分會理事。學（xué）術研究上，首（shǒu）次提出激光（guāng）誘導周期性納米結構自對準製造、逐像素偏振圖案化脈衝激光光刻（kè）等技術，實現了大（dà）麵積亞波長（zhǎng）結構圖案化高效製造；工業應用上，開發了整形脈衝激（jī）光輔助蝕刻技術製備玻璃晶圓微通孔（kǒng）/微溝（gōu）槽/微透鏡等，與企業共建“激光精密製造與芯片先進封裝”校企聯合實（shí）驗（yàn）室。近年來以通訊作者身（shēn）份發表高水平學術論文40餘（yú）篇，獨立主持國家省市（shì）級及企業橫向項目10餘項。
